| Nominative | Accusative | Dative | Genitive |
| No Article |
Epitaxiewachstum |
Epitaxiewachstum |
Epitaxiewachstum/Epitaxiewachstume |
Epitaxiewachstumes/Epitaxiewachstums |
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| Definite Article |
das Epitaxiewachstum |
das Epitaxiewachstum |
dem Epitaxiewachstum/Epitaxiewachstume |
des Epitaxiewachstumes/Epitaxiewachstums |
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| Indefinite Article |
ein Epitaxiewachstum |
ein Epitaxiewachstum |
einem Epitaxiewachstum/Epitaxiewachstume |
eines Epitaxiewachstumes/Epitaxiewachstums |
